中芯國(guó)際與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所將進(jìn)行深度合作,共同進(jìn)行MEMS傳感器標(biāo)準(zhǔn)工藝開(kāi)發(fā),打造完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。
中芯國(guó)際(SMIC)日前與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所簽訂了微機(jī)電(MEMS)研發(fā)代工平臺(tái)合作協(xié)議,共同進(jìn)行MEMS
傳感器標(biāo)準(zhǔn)工藝開(kāi)發(fā),合作打造完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。
根據(jù)協(xié)議,中芯國(guó)際與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所將進(jìn)行深度合作,充分發(fā)揮微電子所在MEMS傳感器設(shè)計(jì)和成套工藝設(shè)計(jì)方面的優(yōu)勢(shì),以及中芯國(guó)際在標(biāo)準(zhǔn)化工藝平臺(tái)、產(chǎn)業(yè)地位及市場(chǎng)影響力方面的優(yōu)勢(shì),以MEMS環(huán)境傳感器的開(kāi)發(fā)為牽引,并結(jié)合其他類型MEMS傳感器結(jié)構(gòu)特點(diǎn),推進(jìn)傳感器工藝技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化、平臺(tái)化和量產(chǎn)化,縮短從設(shè)計(jì)方案到量產(chǎn)產(chǎn)品的距離,促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
“中芯國(guó)際研發(fā)團(tuán)隊(duì)在傳感器領(lǐng)域持續(xù)開(kāi)發(fā)新的工藝平臺(tái),引進(jìn)新客戶,取得了很多新的成績(jī)。中芯國(guó)際愿意開(kāi)放平臺(tái),支持商業(yè)化生產(chǎn)、學(xué)校和科研院所的研發(fā)。”中芯國(guó)際首席執(zhí)行官兼執(zhí)行董事邱慈云博士表示,“中芯國(guó)際與微電子所在多個(gè)邏輯工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目上已有良好的合作基礎(chǔ),此次我們將繼續(xù)深入合作,共同推進(jìn)MEMS傳感器的成套標(biāo)準(zhǔn)化工藝開(kāi)發(fā),協(xié)助整合并完善MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。”
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