嘉賓現(xiàn)場(chǎng)演講
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“拐點(diǎn)”下的市場(chǎng)趨勢(shì)
過去一年，在整體經(jīng)濟(jì)增速放緩的大背景下，中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，是唯一保持增長(zhǎng)的地區(qū)，2015年銷售額同比增長(zhǎng)7.7%，半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)呈現(xiàn)穩(wěn)步增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)，2016年則成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“拐點(diǎn)”。
對(duì)于當(dāng)前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，世偉洛克資深半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理John Baxter分析指出：“半導(dǎo)體行業(yè)正廣泛使用新的3D芯片技術(shù)，該技術(shù)將激發(fā)和制造新的集成電路，這正是我們樂見其成的。隨之而來的就是對(duì)新技術(shù)的挑戰(zhàn)，需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈通過更多的交流與合作共同達(dá)成。”
來自SEMI中國(guó)的首席分析師戚發(fā)鑫則針對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)作了重點(diǎn)分析，他指出，集成電路已經(jīng)成為中國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支撐，是整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。同時(shí)，國(guó)家政策長(zhǎng)期支持產(chǎn)業(yè)發(fā)展。“產(chǎn)業(yè)政策+政府資金”雙輪驅(qū)動(dòng)我國(guó)集成電路產(chǎn)能擴(kuò)張積極。再結(jié)合全球產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)分析，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來黃金十年。
中微半導(dǎo)體采購(gòu)總監(jiān)、半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)資深人士朱文龍針對(duì)“半導(dǎo)體設(shè)備中的流體系統(tǒng)應(yīng)用”分享指出，技術(shù)發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備帶來挑戰(zhàn)，包括線寬越來越小，防污染要求越來越多樣等，如果沒有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，要花很多精力對(duì)應(yīng)。在流體系統(tǒng)里使用潔凈度、工藝標(biāo)準(zhǔn)高的組件，排除污染源時(shí)就可以節(jié)省很多資源。
美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)(NSF)北卡電子材料研究中心研究員、沈陽(yáng)拓荊科技有限公司總經(jīng)理呂光泉博士重點(diǎn)介紹了ALD原子層沉積工藝在半導(dǎo)體芯片制造工藝中的最新應(yīng)用場(chǎng)合，以及目前設(shè)備廠家ALD機(jī)臺(tái)大規(guī)模制造所帶來的挑戰(zhàn)。
不斷創(chuàng)新 世偉洛克深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用
論壇上，針對(duì)“芯片制造中氣體系統(tǒng)的挑戰(zhàn)和最佳實(shí)踐方案”，John Baxter作了詳細(xì)介紹，從“不穩(wěn)定的化學(xué)品，產(chǎn)品均一性和良率，成本的考慮”這幾個(gè)方面來闡述選擇一款合適的產(chǎn)品對(duì)芯片生產(chǎn)制造的重要性。”
作為包括 ALD、CMP、晶圓清洗、銅沉積、鈷沉積、CVD 和 PVD等在內(nèi)的半導(dǎo)體流體系統(tǒng)和工藝的技術(shù)專家，世偉洛克的工藝系列不僅支持半導(dǎo)體芯片制造，也支持平板顯示器、鋰離子電池、LED 以及光伏技術(shù)的開發(fā)。
在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用上，世偉洛克曾推出面密封金屬對(duì)金屬的接頭設(shè)計(jì)“VCR接頭”;其獨(dú)有的無(wú)彈簧隔膜閥設(shè)計(jì)，為隔膜閥設(shè)計(jì)中的潔凈度和可靠性設(shè)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。一直以來，世偉洛克堅(jiān)持對(duì)產(chǎn)品原材料嚴(yán)苛的質(zhì)量控制，保證產(chǎn)品穩(wěn)定性，并不斷針對(duì)半導(dǎo)體制造對(duì)核心產(chǎn)品的苛刻需求進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，其重點(diǎn)產(chǎn)品包括球閥、超高純隔膜閥、波紋管閥、單向閥、最先進(jìn)的ALD(原子層沉積閥)、VCR金屬面密封接頭、高純微型焊接接頭、高純調(diào)壓閥和高純壓力表、高純過濾器、軟管等，廣泛應(yīng)用與半導(dǎo)體制造中。
論壇現(xiàn)場(chǎng)，一能科技有限公司總工程師星野政宏也向與會(huì)者介紹了日本IC產(chǎn)業(yè)與世偉洛克的合作。星野政宏曾擔(dān)任日本NEC工藝總工程師，參與日本18英寸國(guó)家項(xiàng)目，是中國(guó)半導(dǎo)體“909”工程的外籍專家，長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體的研究開發(fā)與應(yīng)用。
值得一提的是，為響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)制程上不斷發(fā)展的需求，世偉洛克最近的一項(xiàng)技術(shù)革新是推出了原子層沉積(ALD)閥門。其ALD閥門具有超長(zhǎng)使用壽命(一億次開關(guān)以上)，高速閥門執(zhí)行開關(guān)速度(低于5毫秒)，高速閥門響應(yīng)速度(低于15毫秒)，熱隔離機(jī)構(gòu)使工作溫度可達(dá)200攝氏度，閥門與閥門流量一致性控制在6%內(nèi)(性能遠(yuǎn)高于普通隔膜閥的10%)等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體ALD(原子層沉積工藝)高K電介質(zhì)沉積。
經(jīng)歷了半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)高度專業(yè)化。半導(dǎo)體設(shè)備和材料處于IC產(chǎn)業(yè)的上游，為IC產(chǎn)品的生產(chǎn)提供必要的工具和原料。而隨著芯片集成度不斷提高，制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小，芯片制造工藝復(fù)雜程度也不斷遞增，這對(duì)設(shè)備與材料以及前道工藝技術(shù)提出更高的要求，不斷創(chuàng)新技術(shù)，跟進(jìn)市場(chǎng)發(fā)展需求，也成為產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)節(jié)點(diǎn)保持競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵。
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