由江蘇 物聯(lián)網(wǎng) 研究發(fā)展中心、無錫微納產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司和華潤微電子等三方共建的國內(nèi)首個完備 MEMS （微機電系統(tǒng)）智能 傳感器 公共技術(shù)平臺進入實際運行階段。
同時，依托該平臺技術(shù)輻射，多家國內(nèi)頂尖研發(fā)機構(gòu)和企業(yè)已入駐，成為當(dāng)?shù)匚锫?lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的重要引擎。
MEMS被認為是繼微電子之后又一個對國民經(jīng)濟和軍事具有重大影響的技術(shù)領(lǐng)域，具有體積小、功耗低、性能穩(wěn)定等優(yōu)點，也是物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)鏈中的最核心環(huán)節(jié)。今年2月，工信部發(fā)文明確將微型智能傳感器納入國家需要突破的關(guān)鍵技術(shù)。
由于技術(shù)門檻較高，加上缺乏開放、專業(yè)的生產(chǎn)平臺，國內(nèi)大部分智能傳感器產(chǎn)品處于原型研制或小批量階段，與國外差距較大。
無錫微納產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司總經(jīng)理王紅介紹，從完善產(chǎn)業(yè)鏈角度出發(fā)，無錫新區(qū)自2010年開始籌建MEMS智能傳感器平臺，依托當(dāng)?shù)?a href="http://www.tzku.cn/tag/e58d8ae5afbce4bd93/" target="_blank" class="keylink">半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的雄厚基礎(chǔ)，建設(shè)了國內(nèi)首個具備設(shè)計、加工和測試服務(wù)能力的生產(chǎn)線，并迅速集聚了一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的研發(fā)機構(gòu)和企業(yè)。
“研發(fā)生產(chǎn)線和規(guī)模制造線的無縫對接將使得MEMS成果快速產(chǎn)業(yè)化成為可能，由此會加快國內(nèi)智能傳感器產(chǎn)業(yè)環(huán)境形成良性循環(huán)”，王紅表示。
據(jù)介紹，該平臺運行一年以來，主要從技術(shù)和資金兩方面給予企業(yè)支持。截至今年7月，平臺累計企業(yè)數(shù)26家，累計測試91次，補貼資金1400多萬元。
按當(dāng)?shù)匾?guī)劃，無錫新區(qū)將于十二五期間培育占全國總量10%左右的傳感器產(chǎn)業(yè)，成為國內(nèi)最大、技術(shù)最先進的智能傳感器基地。與此同時，無錫市還將每年籌集5億元專項資金用于扶持相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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