美國飛思卡爾半導(dǎo)體（Freescale Semiconductor）發(fā)布了汽車用加速度傳感器的新系列“MMA6222EG/6255EG/621010EG”。設(shè)想配備在汽車的安全氣囊上用于碰撞檢測。
新產(chǎn)品以該公司的MEMS工藝“HARMEMS”的新技術(shù)為基礎(chǔ)。HARMEMS通過高深寬比（High Aspect）加工實(shí)現(xiàn)了元件的高性能。此次，為了使構(gòu)成MEMS的結(jié)構(gòu)體不處于過阻尼狀態(tài)，對(duì)其做了進(jìn)一步改進(jìn)。
此次發(fā)布的產(chǎn)品為10bit數(shù)字輸出的雙軸產(chǎn)品。可檢測±20g、±50g及±100g范圍內(nèi)的加速度。
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