1納米(1nm)晶體管打破了過去業(yè)內普遍認為的5nm晶體管物理限制,長久以來主宰半導體市場的摩爾定律正在遭遇挑戰(zhàn)。
美國能源署(DOE)旗下勞倫斯伯克利國家實驗室(Lawrence Berkeley National Laboratory)的研究人員稱已開發(fā)出1納米(1nm)晶體管,打破了過去業(yè)內普遍認為的5nm晶體管物理限制,長久以來主宰
半導體市場的摩爾定律正在遭遇挑戰(zhàn)。
1nm晶體管由勞倫斯伯克利國家實驗室的科學家Ali Javey所帶領的研究團隊開發(fā)。長久以來,晶體管柵極長度一直被認為很難突破物理限制,但我們展示的1nm晶體管選擇了適當的材料,將使未來的電子產品有更多的微縮空間。
1nm晶體管由碳納米管和二硫化鉬(MoS2),這是一種常見于汽車配件商店的發(fā)動機潤滑油。二硫化鉬在發(fā)光二極管(LED)、激光(Laser)、納米晶體管,太陽能電池等領域中有著巨大應用潛力。
具有二氧化鉬通道和1nm碳納米管柵極的晶體管原理圖。(圖片來源:Sujay Desai / UC Berkeley)
參與這項研究的科學家Sujay Desai指出,半導體行業(yè)一直認為尺寸小于5nm的柵極就無法運作了,因而不考慮5nm以下的工藝尺寸。而這次的研究則表明小于5nm柵極的研究不應被忽視。“產業(yè)界一直在設法擠出硅的最后一點效能,通過將硅換成二硫化鉬,我們可以用一個長度僅1nm的柵極制作晶體管,并使其具有開關功能。”
當“電子失去控制”
該晶體管由三部份組成:一個源極,一個漏極,和一個柵極。電流從源極流到漏極,由柵極控制電流,并響應施加的電壓而開啟或關閉。
硅和二硫化鉬都具有晶格結構,但與二硫化鉬相比,流過硅的電子較輕且阻力較小。當柵極在5nm或更大尺寸時這是一個好消息。但在5nm以下便會面臨稱之為穿隧效應的量子物理現象,柵極障壁無法再讓電流從源極流到漏極。
“這意味著我們不能關閉晶體管,”Desai說。“電子已經失去控制。”
由于流經MoS2電子更重,因而可用較小的柵極來控制電流。二硫化鉬還可以微縮到原子級,約0.65nm厚,并具有較低的介電常數,具有在電場中儲存能量的能力。

晶體管的橫截面。它顯示了由絕緣體二氧化鋯分離的1nm碳納米管柵極及二硫化鉬。(圖片來源:Qingxiao Wang / UT Dallas)
選用二硫化鉬做為半導體材料后,研究人員開始制作柵極,但迄今業(yè)內并沒有適用1nm規(guī)模的光刻技術,因而研究人員采用了直徑僅有1nm的空心圓柱碳納米管。對器件進行的電性能測量表明,碳納米管能有效控制電子的流動。
Javey表示,這項研究證實了其團隊的概念。他們尚未將晶體管封裝到芯片上。但他也指出,未來晶體管將不再受限于5nm柵極,通過改變半導體材料和結構,摩爾定律還會持續(xù)下去。
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